半導体デバイス・精密機械工場

工場の垂直立ち上げを可能にするコンカレント設計施工。

ケミカル汚染にも安全

SO_X、NO_X、NH₃などガス状物質を除外します。

• 空調系統にケミカルフィルター・ケミカルワッシャー組込み
• ガスの発生が少ない建材を採用（塗床材・シーリング材など）
• 測定監視の徹底

安心の静電気対策 ESA（Electrostatic Attraction）

ESA（静電気力）によるワークへの吸着対策。

• 高耐久性帯電防止床
• 導電性内装仕上・導電性容器・梱包材
• 静電シールド性容器・梱包材
• 導電靴着用
• 確実なアース
• 加湿による適切湿度維持・素材加湿
• 常時除電実施

微振動に対応する免震

剛すべり支承（テフロンやSUS等の低摩擦により、全体が移動することでゆれを拡散する硬いアイソレータ）と、オイルダンパーによる変位制御のベストミックスで免震メカニズムを構成。大地震でない限り作動しない拘束メカニズムを付加。

確実な精密防振

高度な清浄空間実現

クリーンルームの対象分野と所要洗浄度

関連情報

• 一つひとつのソリューション「森の中の太陽工場」

• 高耐久性帯電防止床「TOFコート導電」
• 微振動対策技術
• アルカリ汚染対策工法
• 熱・流体シミュレーション

• 精密環境施設の実績