技術概要

半導体工場や先端的研究施設などの精密環境では、人には感じにくい微振動に対しても有効な対策が必要となります。
当社では、予測・評価の難しい微振動について、豊富な経験に基づく的確な振動予測や調査を行い、それぞれの環境に応じた最適な防振対策の提案や効果的な微振動制御技術の研究開発をしています。

お客様のメリット

  • 生産段階における振動予測に基づいて、それぞれの環境に応じた最適な防振対策を実施し、ライン立上げ時の不具合を未然に防ぎます。
  • 計画地や設置予定の嫌振機器・生産機械に応じて必要な調査、的確な予測を行い、想定されるさまざまな振動に対応できる防振対策が可能となります。

技術・工法の特徴

微振動制御技術の紹介

精密環境などの厳格な振動許容値に対する対策として、豊富な経験を活かした「微振動予測対応システム」により、的確な防振対策を提案します。
また、建物の要求性能や振動特性を細分化し、それぞれの環境に適した微振動制御技術の研究開発を行っています。

免震建物を対象とした微振動制御技術

精密機器生産施設などでは、BCPの一環として免震構造を採用する事例が増えています。しかしながら、免震構造は、長周期化に伴い、微振動領域での応答が増大するため、振動許容値を超えてしまう懸念があります。当社開発の「オイルダンパー付き弾性すべり支承」 、「TO-HIS II※工法」は免震構造の微振動を抑制する技術です。

※TO-HISII:Toda - High Paformance Isolation System II

上下方向の微振動制御技術

機械振動や人間の歩行振動によって発生する上下方向の振動を、TMD(Tuned Mass Damper)により制御します。

免震建物と振動許容値の一例

微振動予測対応システム

これまでの豊富なノウハウをデータベース化し、効率的で精度の良い微振動予測対応システムを構築しており、様々な問題に対し迅速に対応します。

一般生菌数が検出された箇所の割合

シミュレーションによる振動応答予測例

免震構造を対象とした微振動制御技術

オイルダンパー付き弾性すべり支承

「オイルダンパー付き弾性すべり支承」は、弾性すべり支承とオイルダンパーにより構成されます。すべり支承が動かない揺れが小さい領域では、オイルダンパーが積層ゴムの揺れの増大を抑制します。一方で、すべり支承が動く地震のような揺れの大きい領域では、オイルダンパーは働かないため、通常の弾性すべり支承と同等の応答低減効果を発揮します。

微振動による免震建物の揺れ オイルダンパー付き弾性すべり支承のメカニズム

TO-HISII(ティーオー エイチアイエス ツー)工法

剛すべり支承

TO-HISII工法の概要

「TO-HISII工法」は、通常の免震構造と剛すべり支承を併用することで微振動領域での剛性を高くし、揺れの増大を抑制する微振動対応型免震工法です。
ITスマートセンサは、簡易型かつ廉価な地震計でありながら、高性能な地震計(精密測定用加速度計)と同等の性能を持っています。

応答制御性能とコスト

応答制御性能とコスト

「TO-HISII工法」は、微振動領域で耐震建物と同等の振動低減効果を発揮します。一方、「オイルダンパー付き弾性すべり支承」は、微振動から大地震に至る広い振動領域で高い応答低減効果を発揮します。

上下方向の微振動制御技術

TMD(ティーエムディー)

TMDの原理

TMD(Tuned Mass Damper)は、歩行や交通などで発生する床の上下振動対策として有効な振動制御装置です。TMDは、錘とばね、ダンパーによって構成され、床と同調して揺れる錘の慣性力とばねの反力により、床の上下振動を抑制します。床や大梁など、様々な場所に設置が可能なため、竣工後の建物への適用も可能です。
当社で各建物の床振動解析を行うことで、最適な選定・調整を行い、床の揺れを低減します。

TMD

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