技術INDEX
微振動対策技術
技術概要

半導体工場や先端的研究施設などの精密環境では、体感以下の微振動に対しても対応が必要となります。
予測・評価の難しい微小な振動について、豊富な経験に基づく的確な振動予測、振動調査により、それぞれの環境に応じた最適な防振対策を行い、要求性能を満足できる構造物を提供します。
お客様のメリット
- 生産段階における振動予測に基づいて、それぞれの環境に応じた最適な防振対策を実施し、ライン立上げ時の不具合を未然に防ぎます。
- 計画地や設置予定の嫌振機器・生産機械に応じて必要な調査、的確な予測を行い、想定されるさまざまな振動に対応できる防振対策が可能となります。
技術・工法の特徴
微振動対策の手順
それぞれの機器の目標性能を満足できるよう、事前の振動解析に基づいて、防振対策を計画、実施し、施工後には確認のための調査を行ったうえで、お引渡しします。

微振動対策の例
さまざまな防振対策の中から、計画地の状況や、建物の特徴、設置予定の嫌振機器・生産機械に応じた、最適な対策を選定します。

振動予測、振動調査の例
実際の建物、機器、振動源をモデル化して、事前の詳細な振動予測や実際の建物での振動調査を行います。

振動予測解析モデル
- 関連情報
