電子部品・精密機械工場

戸田建設独自のソリューションでお客様のニーズにお応えします

工場の垂直立ち上げを可能にするフロントローディング設計施工で対応します。

ケミカル汚染にも安全

SOₓ、NOₓ、NH₃などガス状物質を除外します。

  • 空調系統にケミカルフィルター・ケミカルワッシャー組込み
  • ガスの発生が少ない建材を採用(塗床材・シーリング材など)
  • 測定監視の徹底

安心の静電気対策 ESA(Electrostatic Attraction)

ESA(静電気力)によるワークへの吸着対策が可能です。

  • 高耐久性帯電防止床
  • 導電性内装仕上・導電性容器・梱包材
  • 静電シールド性容器・梱包材
  • 導電靴着用
  • 確実なアース
  • 加湿による適切湿度維持・素材加湿
  • 常時除電実施

微振動に対応する免震

剛すべり支承(テフロンやSUS等の低摩擦により、支承が摺動することでゆれを吸収する硬いアイソレータ)と、オイルダンパーによる変位制御のベストミックスで免震メカニズムを構成した上で、大地震でない限り作動しない拘束メカニズムを付加します。

  • 剛すべり支承
  • オイルダンパー

確実な精密防振

地盤微動や建物内機械振動等の伝播、あるいは共振を抑えるため、必要に応じ適切な防振対策を行います。

  1. 1
    振動許容値・条件確認
  2. 2
    振動環境調査
  3. 3
    スペクトル算出
  4. 4
    周波数特性把握
  5. 5
    課題の抽出
  6. 6
    対策アウトライン設定
  7. 7
    振動予測計算
  8. 8
    評価・検討
  • 地盤上の測定値 入力損失を考慮した予測値
  • 振動絶縁 剛性・重量確保 除振機構

高度な清浄空間実現

  • クリーンルーム四原則
  • 進化する半導体デバイス・精密機械工場

クリーンルームの対象分野と所要清浄度

クリーンルームの対象分野と所要清浄度の表

主な実績

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