微振動対策

精密機器生産施設などでは、半導体をはじめとする製品の微細加工や電子顕微鏡など様々な嫌振装置を使用するため、厳格な振動許容値を満たす必要があります。微振動予測対応システムによる的確な防振・制振対策の提案や、免震構造の微振動を抑制する技術により、このような環境振動問題に対し迅速に対応します。

概要
メリット
特徴

概要

半導体工場や先端的研究施設などの精密環境では、人には感じにくい微振動に対しても有効な対策が必要となります。
当社では、予測・評価の難しい微振動について、豊富な経験に基づく的確な振動予測や調査を行い、それぞれの環境に応じた最適な防振対策の提案や効果的な微振動制御技術の研究開発をしています。

メリット

生産段階における振動予測に基づいて、それぞれの環境に応じた最適な防振対策を実施し、ライン立上げ時の不具合を未然に防ぎます。
計画地や設置予定の嫌振機器・生産機械に応じて必要な調査、的確な予測を行い、想定されるさまざまな振動に対応できる防振対策が可能となります。

特徴

微振動制御技術の紹介

微振動予測対応システム

精密環境などの厳格な振動許容値に対する対策として、これまでの豊富なノウハウをデータベース化し、効率的で精度の良い「微振動予測対応システム」により的確な防振対策を提案し、様々な環境振動問題に対し迅速に対応します。また、建物の要求性能や振動特性を細分化し、それぞれの環境に適した微振動制御技術の研究開発を行っています。

微振動予測対応システム
シミュレーションによる振動応答予測例

免震建物を対象とした微振動制御技術

精密機器生産施設などでは、BCPの一環として免震構造を採用する事例が増えています。しかしながら、免震構造は、長周期化に伴い、微振動領域での応答が増大するため、振動許容値を超えてしまう懸念があります。当社開発の「TO-HIS II※工法」は免震構造の微振動を抑制する技術で、通常の免震構造と剛すべり支承を併用することで微振動領域での剛性を高くし、揺れの増大を抑制する微振動対応型免震工法です。

※

TO-HISII：Toda - High Paformance Isolation System II

剛すべり支承
TO-HISⅡ工法の概要
免震建物と振動許容値の一例

上下方向の微振動制御技術

機械振動や人間の歩行、車の交通などによって発生する上下方向の振動を、TMD（Tuned Mass Damper）により制御します。TMDは錘とばね、ダンパーによって構成され、床と同調して揺れる錘の慣性力とばねの反力により、床の上下振動を抑制します。床や大梁など、様々な場所に設置が可能なため、竣工後の建物への適用も可能です。当社で各建物の床振動解析を行うことで、最適な選定・調整を行い、床の揺れを低減します。